详细介绍
品牌 | 贝意克 | 价格区间 | 面议 |
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仪器种类 | 管式炉 | 产地类别 | 国产 |
应用领域 | 环保,化工,能源,电子 |
等离子体增强回转PECVD系统
该款设备选用特殊形状(两头细中间粗)的石英管作为化学气相沉积的反应室;加热的同时炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉体材料翻炒有助于烧结得更均匀;而且炉体可左右大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0~35°可调。
此款设备现广泛应用于低温石墨烯制备实验、粉体材料碳包覆实验。
等离子体增强回转PECVD系统技术参数Technical Parameters
Furnace加热炉 |
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Max. Tem最高温度 |
1200℃ |
Heating zone length加热区长度 |
440mm |
Constant zone length恒温区长度 |
200mm |
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节 智能化30段可编程控制 超温和断偶报警功能 操作界面为7"工控电脑 |
Heating Elements 加热元件 |
电阻丝(掺钼铁铬铝合金) |
Temperature Accuracy 控温精度 |
+/- 1℃ |
Processing tube 炉管 |
尺寸:Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm 炉管转速:3~13r/min |
Furnace body inclination angle |
0~35°(adjustable) |
PE source PE源 |
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Signal frequency信号频率 |
13.56 MHz±0.005% |
Power output range功率输出范围 |
0-500W |
RF output interface射频输出接口 |
50 Ω, N-type, female |
Power stability功率稳定性 |
≤5W |
Gas supply system气路系统 |
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High precision mass Flowmeter(Range optional) |
高精度质量流量计(量程可选) |
Accuracy准确度 |
±1.5% |
Response accuracy响应精度 |
·±0.2% |
Response time响应时间 |
气特性 电特性 |
Working pressure difference range工作压差范围 |
0.1~0.5MPa |
Max. pressure最大压力 |
·3MPa |
Connection 连接头类型 |
Φ6mm双卡套不锈钢接头 |
Vacuum unit真空系统 |
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KF25 series bellows and manual stopper valves |
采用KF25系列波纹管和手动挡板阀 |
Vacuum up to10-1Pa |
真空度可达10-1Pa |
The value can be displayed intuitively by the digital display vacuum tester |
数显真空测试仪可直观的显示数值 |
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