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前端预热滑轨PECVD

简要描述：前端预热滑轨PECVD
成立于2012年，隶属百思集团，其平行公司有百思新材料研究院有限公司、合肥莱德装备技术有限公司、天津百诺金科技有限公司、合肥欧莱迪光电技术有限公司、安徽贝意克智能科技有限公司。贝意克公司于2020年在合肥投资5亿元新建5万平米贝意克智能装备产业园。设有贝意克工程设计中心，贝意克工程技术中心，贝意克联合实验室等研发公共服务平台。

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厂商性质：生产厂家
更新时间：2021-09-30
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PECVD系统

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详细介绍

品牌	贝意克	价格区间	面议
仪器种类	管式炉	产地类别	国产
应用领域	环保,化工,能源,电子

前端预热滑轨PECVD前端预热滑轨PECVD

管式炉

炉管尺寸：外径φ50

加热元件：电阻丝（Fe-Cr-Alloy doped by Mo）

加热区长度：440mm

恒温区长度：200mm（±1℃）

工作温度：1100℃

最高温度：1200℃

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度：±1℃

升温速度：20℃/min

炉门结构：开启式

工作电源：AC220V/50Hz

额定功率：3KW

射频电源

信号频率：13.56MHz±0.005%

功率输出范围：5W-500W

最大反射功率：200W

射频输出接口：5Ω，N-type，female

功率稳定度：±0.1%

谐波分量：-50dbc

供电电压：单相交流（187V-253V），频率50/60Hz

整机效率：≥70%

功率因素：≥90%

冷却方式：强制风冷

供气系统

外形尺寸：600*600*650mm

连接头类型：双卡套不锈钢接头

标准量程（N₂）：100sccm、200sccm、500sccm

准确度：±1.5%

线性：±0.5%~1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1~4Sec，电特性：10Sec

工作压差范围：0.1~0.5MPa

最大压力：3MPa

接口：φ6，1/4"

显示：4位数字显示

工作环境温度：5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管：φ6

压力真空表：-0.1~0.15MPa，0.01MPa/格

截止阀：φ6

低真空机组

技术参数：

功率：0.4KW（4级）

极限压力：5*10^-1（Pa）

外型尺寸：600*600*650mm

电阻真空计参数：

1.配用规管：电阻规

2.测量范围：10⁵—5*10^-1Pa

3.测量路数：1路

4.控制范围：5*10³—5*10^-1Pa

5.控制方式：继电器触点输出，负载能力AC220V/3A（或DC28V/3A)无感负载

6.电源：90-260V/50Hz或220V±10% 50Hz

7.功耗：20W

预热炉

工作温度：350℃

最高温度：400℃

最快升温速率：30℃/min

推荐升温速率：10℃/min

控温方式：智能化30段可编程控制

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