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国产高真空机组

简要描述：贝意克主要从事实验室仪器设备的研发生产，主营各类型、管式炉、CVD、PECVD、ALD、PVD磁控溅射、真空镀膜、薄膜制备、纳米材料制备装备、各种高精度真空箱以及各类非标定制，产品领域涉及科研、光电产业化、半导体、军工等高科技产业。公司致力于提供专业的设备、技术和服务，助力全球新材料研发。

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厂商性质：生产厂家
更新时间：2021-09-28
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详细介绍

品牌	其他品牌	输送介质	其他
泵轴位置	其他	叶轮数目	其他
应用领域	化工,能源,电子,电气

国产高真空机组VAU-05G

　　1.技术指标：

环境温度	5-32℃
空气相对湿度	≤85%
工作电压	AC220V±10% 50/60Hz
功率	1KW
系统整体极限真空度	5.0*10-5pa
实验真空度	5.0*10-3pa
外形尺寸	600600650mm

　　2.主要配置：

主要配置	技术参数
机械泵	抽气速率：4L/S 容油量：1.1L 电机功率：400W 极限压强：6×10^-2Pa
分子泵	抽气速率：100L/S 极限压强：6×10^-6Pa 启动时间：＜2min 额定转速：4300转/分冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷。
分子泵控制器	电压：220V±22V 启动电流：≤7A 输入频率：47HZ—63HZ 最大输出功率：≤150W 最大加速电压：≤40V 加速时间：≤3min 频率（双速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ
复合真空计	测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）工作模式：手动/自动电阻单元参数测量范围：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa 有效范围：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa 控制范围：2.5×10^>3Pa~5.0×10^-1Pa 电离单元参数可测范围：5.0Pa~1.0×10^-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa 规管除气方式：焦耳去气其他参数控制路数：4 控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆控制精度：±1% 采样时间：1S 电源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用环境温度：0℃~45℃ 湿度：≤85%
连接管路	采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10^-9Pa.m³/s

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