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低真空CVD系统

简要描述：低真空CVD系统是由多通道高精度的质量流量计、低真空机组以及1500度高温管式炉组成。其广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。

产品型号：BTF-1500C-3ZL
厂商性质：生产厂家
更新时间：2021-09-27
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CVD系统

二维材料制备碳纳米管

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品牌	其他品牌	产地类别	进口
应用领域	电子,综合

设备低真空CVD系统特点

此款CVD系统是由多通道高精度的质量流量计、低真空机组以及1500度高温管式炉组成。其广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。

低真空CVD系统加热区参数：

炉管尺寸：Φ 50×700mm

加热元件：硅碳棒

加热区长度：160mm
恒温区长度：50mm
工作温度：1400℃
最高温度：1500℃
控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度：±1℃

推荐升温速度：1400℃以下≤10℃/min，1400℃以上≤5℃/min
工作电源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

额定功率：2.5KW

外型尺寸： 420×295×520 mm

密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头），端口可按实际使用扩展。

标准配件：刚玉管1根，不锈钢密封法兰1套，氟胶密封圈2套，氧化铝管堵4只，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个。

备注：可选配1200℃、1400℃、1600℃、1700℃等不同温区的管式炉。

气路系统参数：

质量流量计参考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可选）

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：≤10sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

最大压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度：5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀：Φ6

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

低真空系统参数：

抽速：10m³/h

极限真空度：5*10^-1pa

电源：220V 50HZ

电机功率：0.4kw

进排气连接口：KF25

用油量：1.1L

电机转速：1440rpm

工作环境温度：5-40℃

噪音：≤56db

电阻真空计参数：

1.配用规管：电阻规，

2.测量范围： 10⁵～10^-1Pa，

3.测量路数： 1路

4.控制范围： 5×10³～5×10^-1Pa，

5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载，

6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7.功耗： 20W

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